توضیحات
فصل اول معرفی دستگاه پلاسمای کانونی
مقدمه
پلاسما
پینچ
پلاسمای کانونی
معرفی عمومی پلاسمای کانونی
مشخصات کلی پلاسمای کانونی شده
چهار بخش اساسی در دستگاه پلاسمای کانونی
دستگاه پلاسمای کانونی نوع مدر و فیلیپوف
برخی کاربردهای دستگاه پلاسمای کانونی
دینامیک دستگاه پلاسمای کانونی
عملکرد پلاسمای کانونی
فاز شکست
فاز رانش محوری
فاز شعاعی
۱- فاز تراکم
۲- فاز ساکن
۳- فاز ناپایداری
۴- فاز فروپاشی
عوامل مؤثر در کارآیی سیستمهای پلاسمای کانونی
پرتوهای ساطع شده از سیستم پلاسمای کانونی
پرتو ایکس
تولید نوترون
تولید یون
فصل دوم برخی روشهای لایهنشانی و دستگاههای آنالیز فیلمهای نازک لایهنشانی شده
۲-۱- برخی روشهای لایه نشانی
۲-۱-۱- کندوپاش
۲-۱-۲- کندوپاش بهوسیله پلاسما
۲-۱-۳- کندوپاش پرتو یونی
۲-۱-۴- روش تبخیر فیزیکی (PVD)
۲-۱-۵- روش تبخیر شیمیایی (CVD)
۲-۱-۶- روش تبخیر گرمایی
۲-۱-۷- لایهنشانی بهوسیله پلاسمای کانونی
۲-۲- برخی دستگاههای آنالیز جهت بررسی فیلمهای نازک لایهنشانی شده
۲-۲-۱- میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM)
الکترونهای بازگشتی
الکترونهای ثانویه
الکترونهای اوژه
۲-۲-۲- میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM)
۲-۲-۳- دستگاه پراش پرتوی ایکس (XRD)
فصل سومبرخی تحقیقات انجام شده جهت لایهنشانی توسط دستگاه پلاسمای کانونی
۳-۱- تشکیل کربیدتیتانیوم (TiC) برروی لایه تیتانیوم از طریق کاشت یون
۳-۲- تشکیل کربید سیلیکون برروی زیرلایه سیلیسیوم از طریق کاشت یون
۳-۳- تأثیر تابش پالسهای یونی پرانرژی برروی زیرلایه سیلیسیوم
۳-۴- بهینهسازی دستگاه پلاسمای کانونی بهعنوان منبع پرتوی الکترونی برای لایهنشانی فیلمهای نازک
۳-۵- نیتریدهسازی به کمک دستگاه پلاسمای کانونی
۳-۶- لایهنشانی نانولایهها بوله دستگاه پلاسمای کانونی
فصل چهارم روش تحقیق و نتیجهگیری
۴-۱- معرفی دستگاه پلاسمای کانونی مرکز تحقیقات فیزیک پلاسما
۴-۲- فرآیند تولید لایههای نازک نیترید آلومینیوم با استفاده از دستگاه پلاسمای کانونی
۴-۲-۱- آمادهسازی و تمیزکاری زیرلایههای استیل ۳۰۴
۴-۲-۱- نحوه انجام آزمایش
چیدمان آزمایش جهت لایه نشانی نیترید آلومینیوم
متغیرهای مورد بررسی، در لایهنشانی نیترید آلومینیوم
آنالیزهای صورت گرفته برروی فیلمهای لایهنشانی شده
آنالیز لایههای نازک نیترید آلومینیوم تولید شده، با استفاده از دستگاه پراش اشعه ایکس
آنالیز لایههای نازک نیترید آلومینیوم تولید شده، با استفاده از دستگاه میکروسکوپ نیروی اتمی
نتایج AFM
آنالیز لایههای نازک نیترید آلومینیوم تولید شده، با استفاده از دستگاه میکروسکوپ الکترونی روبشی
نتیجهگیری
برخی پیشنهادات تحقیقاتی
نقد و بررسیها
هیچ دیدگاهی برای این محصول نوشته نشده است.